向井拓史 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】イソチアゾリン系化合物のみでは効果が低い微生物やバイオフィルムに対しても良好な抑制作用を有する、抗菌性に優れたインクジェット用の水性インク、並びにこの水性インクを用いたインクカートリッジ及びインクジェット記録方法を提供する。【解決手段】色材、第1抗菌剤、及び第2抗菌剤を含有するインクジェット用の水性インクである。第1抗菌剤が、イソチアゾリン系化合物であり、第2...

    インク、インクカートリッジ、及びインクジェット記録方法

  2. 【課題】半導体装置の製造に有利な技術を提供する。【解決手段】基板の上に有機系材料膜、および、有機系材料膜の上に無機系材料膜を形成する工程と、無機系材料膜の上に開口を有するフォトレジストパターンを形成する工程と、フォトレジストパターンの開口を介して無機系材料膜をプラズマを用いてドライエッチングし無機系材料膜に開口を形成する第1のエッチング工程と、フォトレジストパターンお...

    半導体装置の製造方法

  3. 【課題】積層構造の絶縁膜をエッチングし、サイドウォールを形成するのに有利な技術を提供する。【解決手段】ゲート電極が形成された基板の上に、ゲート電極を覆うように第1の絶縁膜を形成する工程と、第1の絶縁膜の上に、シリコンおよび窒素を含む第2の絶縁膜を形成する工程と、フッ素および水素を含むエッチングガスを用いて第2の絶縁膜をエッチングし、第2の絶縁膜のうちゲート電極の側面を...

    半導体装置の製造方法