升本恵子 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】従来の炭化珪素エピタキシャルウェハよりも反り量が小さい炭化珪素エピタキシャルウェハを提供することである。【解決手段】本発明の炭化珪素エピタキシャルウェハ10は、炭化珪素基板1と、炭化珪素基板1の第1主面1Aに設けられ、100μm以上の膜厚を有する炭化珪素層2と、を備える炭化珪素エピタキシャルウェハであって、炭化珪素エピタキシャルウェハの反り量が−20μm以上、...

    炭化珪素エピタキシャルウェハ及びその製造方法