パク,スヨン さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】レーザーを利用して基板を効率的に処理することができる基板処理方法及び装置を提供する。【解決手段】本発明は基板を処理する装置を提供する。基板を処理する装置は、内部に処理空間を有するハウジングと、ハウジング内で基板を支持する支持ユニットと、支持ユニットに支持された基板に液を供給する液供給ユニットと、基板の縁領域にレーザーを照射するレーザー照射ユニットと、液供給ユニ...

    基板処理装置及び方法

  2. 【課題】基板に清浄化液を供給することができる装置を提供する。【解決手段】本発明は基板を液処理する装置及び方法を提供する。基板を処理する装置は内部に処理空間を有する処理容器、前記処理空間で基板を支持する基板支持ユニット、そして前記基板支持ユニットに支持された基板に処理液を供給する液供給ユニットを含み、前記液供給ユニットはノズル、前記ノズルに処理液を供給する、そして第1バ...

    液供給ユニット、そしてこれを有する基板処理装置及び方法