コックスマイケルエス さんに関する公開一覧

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公開年
  1. 【課題】チャンバ内で実行される構成要素またはプロセスの監視、識別、および/または制御の測定基準を提供する能力を含むチャンバおよび/またはチャンバ構成要素を提供する。【解決手段】プロセスチャンバは、その上に配置されたチャンバリッドアセンブリを有するチャンバ本体と、チャンバリッドアセンブリに結合された1つまたは複数の監視装置と、チャンバリッドアセンブリに隣接して配置され、...

    スマートチャンバおよびスマートチャンバ構成要素

  2. 【課題】本明細書に提供された実施形態は一般に静電チャック(ESC)を提供する。【解決手段】このESCは、ESCを貫通する孔など、減らされたいくつかの応力開始点を含むことができ、これによってESCの機械的完全性を向上させることができる。ESC内に配置された電極を、導電性リード線を介して電気接点および電源に接続することができ、この導電性リード線は、ESCの周囲端面に沿って...

    薄い基板をハンドリングするための静電キャリア

  3. 【課題】本開示の実施形態は、方位角方向の温度制御を有する静電チャック(ESC)を提供する。【解決手段】一実施形態では、静電チャックは、絶縁ベースと、絶縁ベース上に配置され、基板支持表面を有する誘電体層と、絶縁ベースと基板支持表面との間に配置された電極アセンブリと、絶縁ベースに結合され、基板表面全体にわたって温度プロファイルを方位角方向に制御するように構成された複数の加...

    局部的に加熱されるマルチゾーン式の基板支持体