渡邉聡 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】高感度で、パターンのLWRやCDUを低減させ、かつ良好な形状を形成させることが可能なネガ型レジスト組成物、及び該組成物を用いるレジストパターン形成方法を提供する。【解決手段】末端に置換基を有するフェニル基がエステル結合で連結されたカルボン酸アニオンのスルホニウム塩、樹脂側鎖末端に芳香環を有するアクリル系構成単位を有するベースポリマー、酸を発生する光酸発生剤を含...

    レジスト組成物及びパターン形成方法

  2. 【課題】高感度かつLWR、CDUが小さく形状が良好なパターンを与える化学増幅ネガ型レジスト組成物、及び該組成物を用いたレジストパターン形成方法を提供する。【解決手段】アニオン部が隣接部にF系原子を有し、末端部に置換基を有するベンゼン環がエステル結合で結合されているスルホニウム又はヨードニウム塩系酸発生剤、及び樹脂側鎖末端に芳香環を有する特定構造のアクリル系ベースポリマ...

    レジスト組成物及びパターン形成方法

  3. 【課題】PED安定性に優れ、DOF特性に優れ、LWRが良好で、裾引きが抑制された形状のパターンを与えることができるポジ型レジスト組成物、及び該ポジ型レジスト組成物を用いるパターン形成方法を提供する。【解決手段】(A)式(1)で表される第1のオニウム塩化合物、(B)特定構造の第2のオニウム塩化合物、(C)特定構造の酸不安定基含有繰り返し単位、及び必要に応じて異なる特定構...

    ポジ型レジスト組成物及びパターン形成方法

  4. 【課題】濾過性ならびに電子線レジスト上への平坦膜の成膜性が良好で、低体積抵抗率(Ω・cm)により電子線描画工程での良好な帯電防止能を示し、当該膜より拡散する酸のリソグラフィーへの影響を低減し、さらに描画後のH2O又はアルカリ性現像液による剥離性にも優れた電子線レジスト描画用帯電防止膜に好適に用いることができる導電性高分子組成物を提供する。【解決手段】(A)下記一般式(...

  5. 【課題】生体認証により認証されなかった場合にも、当該車両を利用できるようにする。【解決手段】車両50に搭載された認証装置20は、記憶部231と、生体読取部S770と、生体認証部S780と、救済認証部S810と、利用許可部S790,S950と、を備える。記憶部は、登録生体情報及び登録救済情報が記憶される。生体読取部は、ユーザの生体情報を読取生体情報として読み取る。生体認...

    認証装置及び管理システム

  6. 【課題】高感度で、焦点深度が広く、高解像度でエッジラフネスやホールパターンの寸法均一性を低減させ、露光後のパターン形状が良好でエッチング耐性に優れるレジスト組成物、及びパターン形成方法を提供する。【解決手段】一般式(p−1),(p−2)及び(p−3)から1つ又は2つ選択される繰り返し単位と、酸の作用で極性が変化する式(a−1)及び式(a−2)の繰り返し単位と、式(b−...

  7. 【課題】容器フィルムの垂れ等に起因する不具合を防止することが可能なブリスタ包装機及びブリスタパックの製造方法を提供する。【解決手段】ブリスタパック1は、帯状の容器フィルム3を搬送しつつ、該容器フィルム3を予熱して軟化状態とした上で該容器フィルム3にポケット部2を形成する工程を経て製造される。少なくとも容器フィルム3の予熱工程からポケット部2の形成工程が完了するまでの間...

    ブリスタ包装機及びブリスタパックの製造方法

  8. 【課題】サイド部材の損傷を防止する。【解決手段】ベーンポンプ100は、回転駆動されるロータ2と、ロータ2のスリット2aに摺動自在に収装されるベーン3と、ベーン3の先端部3aが摺接するカム面4aを有するカムリング4と、ロータ2及びベーン3の側面が摺接する摺接面40aを有するサイド部材40と、ロータ2とカムリング4と隣り合うベーン3とにより画成されるポンプ室6と、摺接面4...

    ベーンポンプ

  9. 【課題】有効成分を胃酸で分解・変質させないようにする;消化管内で効果的に吸収されるようにする等の目的で、胃で崩壊・溶解し難く、腸で崩壊・溶解し易い被覆粉体を提供すること。【解決手段】有効成分を含有する核12が可食性被覆材層13によって被覆されている腸溶性被覆粉体11であって、該可食性被覆材層13は、多糖を含有する固体分散媒14、及び、2価以上の陽イオンの塩を含有する固...

    腸溶性被覆粉体