高橋裕之 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】1対の側壁部に1対の導体突出部を形成した簡単な構造で、周波数帯域の拡大が可能な導波管スロットアンテナを提供する。【解決手段】導波管スロットアンテナは、誘電体基板(10)の下面及び上面にそれぞれ形成された第1及び第2導体層(11、12)と、導波管の両側の側壁を構成する1対の側壁部(20、21)と、第1の方向(X)に対向する短絡面となる1対の短絡壁部(24、25)...

    導波管スロットアンテナ

  2. 【課題】 ロードロックモジュールにて基板を検知する技術を提供すること。【解決手段】 大気圧下で基板が搬送される大気搬送モジュールと、真空圧下で基板の搬送が行われる真空搬送モジュールと、の間に設置されたロードロックモジュールにおいて、内部を大気圧と、真空圧との間で切り替え可能なロードロック室を設ける。このロードロック室に、基板を冷却する冷却機構を備えた載置台を設ける...

    ロードロックモジュール、基板処理装置及び基板の搬送方法

  3. 【課題】スロットの配置に基づき、小型化と良好な放射特性とを両立し得る導波管スロットアンテナを提供する。【解決手段】導波管スロットアンテナは、誘電体基板(10)とそれを取り囲む金属部材(11、12、13)とにより構成された導波管と、この導波管の第1の方向(X)に沿って配置され、金属部材の内縁により画定される一又は複数のスロット(14)とを備えており、金属部材は導波管のう...

    導波管スロットアンテナ

  4. 【課題】給電部の構造と配置に基づいて良好な特性を保ちつつ小型化に適した導波管スロットアンテナを提供する。【解決手段】導波管スロットアンテナは、誘電体基板(10)と、誘電体基板の下面に形成された第1導体層(11)と、誘電体基板の上面に形成され一又は複数のスロット14が設けられる第2導体層(12)と、第1及び第2導体層の間を電気的に接続し第1の方向(X)に延在する1対の側...

    導波管スロットアンテナ

  5. 【課題】誘電体部材を用いて小型軽量化と加工の容易性を確保しつつ、インピーダンス不整合による反射特性の劣化を有効に防止し得るホーンアンテナを実現する。【解決手段】ホーンアンテナは、第1の方向(X)に直交する第1矩形断面を有する導波管部(10)と、第1矩形断面における電界方向である第2の方向(Z)にのみ拡径する第2矩形断面を有するホーン部(20)とを備え、導波管部は、第1...

    ホーンアンテナ

  6. 技術 導波管

    【課題】短絡壁部を構成する複数の短絡用ビア導体から漏れた信号による影響を抑制し、伝送特性の向上が可能な導波管を提供する。【解決手段】導波管は、誘電体基板(10)と、その両方の主面に形成された第1導体層(11)及び第2導体層(12)と、第1及び第2導体層の間を電気的に接続して導波管の両側の側面となる1対の側壁部(13)と、第1及び第2導体層の間を接続する複数の短絡用ビア...

    導波管

  7. 技術 導波管

    【課題】インピーダンスの急激な変化を緩和し得る給電構造を有し、作製時に誘電体基板の反り、クラック、充填不良等の不具合を防止可能な導波管を提供する。【解決手段】導波管は、誘電体基板(10)と、その下面及び上面に形成された第1導体層(11)及び第2導体層(12)と、導波管の両側の側壁を構成する1対の側壁部(13)と、導波管への入力信号を給電する給電部(15)を備えている。...

    導波管

  8. 【課題】複数のスロットを合成した周波数特性を広帯域化することが可能な導波管スロットアンテナを提供する。【解決手段】導波管スロットアンテナは、誘電体基板(10)とそれを取り囲む金属部材とにより構成された導波管に、複数のスロット(14)と給電部(15)とを設けて構成され、金属部材は誘電体基板の両側の表面の第1導体層(11)及び第2導体層(12)を含み、複数のスロットは導波...

    導波管スロットアンテナ