高松弘行 さんに関する公開一覧

一部、同姓同名の別人の方の出願情報が表示される場合がございます。ご了承くださいませ。

  1. 【課題】光照射直後の反射強度信号に含まれるノイズの影響を受けずに、表面再結合速度(S)を安定かつ高精度で測定する半導体評価方法及び半導体評価装置を提供すること。【解決手段】半導体評価装置1に、半導体に光パルスを照射する光照射部10と、光パルスが照射された領域を含む光パルス照射領域に測定波を照射する測定波照射部20と、光パルス照射領域で反射した測定波を検出するマイクロ波...

    半導体評価方法、及び半導体評価装置

  2. 【課題】試料に対して高周波数の超音波を送出でき、高空間分解能で試料の内部を観察することができる超音波顕微鏡を提供する。【解決手段】パルス光によって超音波を発生させて試料に照射し、試料で反射した反射超音波を用いて試料を観察する超音波顕微鏡1aにおいて、パルス光を照射するパルス光照射手段5と、照射されたパルス光を吸収して熱弾性効果による超音波を発し、該超音波を試料に送出す...

    超音波顕微鏡