高山祐一 さんに関する公開一覧
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技術 遊技機
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技術 遊技機
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技術 遊技機
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技術 基板処理装置
【課題】加熱処理後に搬送される基板の汚染を軽減する技術を提供する。【解決手段】基板処理装置1は、インデクサ部IDおよび処理部PUを有する。処理部PUは、流体処理部30、加熱処理部40、シャトル搬送機構50、第1搬送ロボット60および第2搬送ロボット70を有する。インデクサ部IDは、キャリアCに収納された基板Wを処理部PUに基板Wを供給する。加熱処理部40は、インデクサ...
- 公開日:2020/07/09
- 出願人: 株式会社SCREENホールディングス
- 発明者: 菊本憲幸 、...
- 公開番号:2020-107804号
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【課題】処理ユニットの増設が可能であり、かつ搬送ロボットのメンテナンスを容易にする技術を提供する。【解決手段】第1処理モジュール3Aは、処理ユニットSP1〜SP6および第1受渡部PS1を有する。インデクサセクション2は、第1処理モジュール3Aの−X側に配され、第1受渡部PS1に基板Wを供給する。搬送モジュール3Tは、第1処理モジュール3Aの+X側に配されており、第1受...
- 公開日:2020/07/09
- 出願人: 株式会社SCREENホールディングス
- 発明者: 高山祐一 、...
- 公開番号:2020-107803号
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技術 遊技機