高原博司 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】 蒸着方式で作製するEL表示パネルでは、ファイン蒸着マスク251を使用して赤、緑、青色画素を形成する。しかし、ファイン蒸着マスク251の位置ずれが発生し、製造歩留まりを低下させていた。【解決手段】 TFT基板52には、赤色、緑色、青色の画素電極がマトリックス状に形成されている。TFT基板52は真空蒸着室56に搬入される。真空中で、有機蒸発源66を使用し...

    EL表示パネルの製造方法、EL表示パネルの製造装置、およびEL表示パネルとEL表示装置。