須黒恭一 さんに関する公開一覧

一部、同姓同名の別人の方の出願情報が表示される場合がございます。ご了承くださいませ。

  1. 【課題】歪みが少なく、膜厚および膜質をより均一にした材料膜を容易に成膜することができる半導体装置の製造方法を提供する。【解決手段】本実施形態による半導体装置の製造方法は、基板を搭載可能なステージと、前記基板上にIII族元素含有ガスを供給する第1供給部と、前記基板上にV族元素含有ガスのラジカルまたはイオンを供給する第2供給部とを備えた半導体製造装置を用いた半導体装置の製...

    半導体装置の製造方法