青木保夫 さんに関する公開一覧

一部、同姓同名の別人の方の出願情報が表示される場合がございます。ご了承くださいませ。

  1. 【課題・解決手段】移動体装置は、基板(P)を保持し、X軸及びY軸方向へ移動可能な基板ホルダ(32)と、Y軸方向へ移動可能なY粗動ステージ(24)と、基板ホルダ(32)の位置情報を、基板ホルダ(32)に設けられたヘッド(74x、74y)と、Y粗動ステージ(24)に設けられたスケール(72)とによって取得する第1計測系と、Y粗動ステージ(24)の位置情報を、Y粗動ステージ...

    移動体装置、移動方法、露光装置、露光方法、フラットパネルディスプレイの製造方法、並びにデバイス製造方法

  2. 【課題・解決手段】移動体装置は、基板(P)を保持し、X軸及びY軸方向へ移動可能な基板ホルダ(32)と、Y軸方向へ移動可能なY粗動ステージ(24)と、基板ホルダ(32)の位置情報を、基板ホルダ(32)に設けられたヘッド(74x、74y)と、Y粗動ステージ(24)に設けられたスケール(72)とによって取得する第1計測系と、Y粗動ステージ(24)の位置情報を、Y粗動ステージ...

    移動体装置、移動方法、露光装置、露光方法、フラットパネルディスプレイの製造方法、並びにデバイス製造方法

  3. 【課題】マスクの位置制御性が向上したマスクステージ装置を提供する。【解決手段】 マスクステージ装置14は、走査方向(X軸方向)に延びるガイド44上に設けられ、マスクMの+Y側の端部を保持し、ガイド44上を走査方向に沿って移動可能な第1の微動ステージ48と、走査方向に延びる前記ガイド44とは別のガイド44上に前記マスクMの+Y側の端部を保持する微動ステージ48とは物理...

    物体搬送装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法

  4. 【課題】基板ステージ装置の構成を簡単にする。【解決手段】 基板ステージ装置20Aは、スキャン方向(X軸方向)に延び、クロススキャン方向(Y軸方向)に沿った位置を移動可能な第1ステップガイド50と、第1ステップガイド50に下方から支持され、第1ステップガイド50の上面に沿ってスキャン方向に沿った位置を移動可能、且つ第1ステップガイド50と共にクロススキャン方向に沿った...

    露光装置及び露光方法、並びにフラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法

  5. 【課題・解決手段】基板(P)を移動する移動体装置は、基板(P)を保持し、X軸及びY軸方向へ移動可能な基板ホルダ(32)と、Y軸方向へ移動可能なY粗動ステージ(24)と、基板ホルダ(32)の位置情報を、基板ホルダ(32)に設けられたヘッド(74x、74y)と、Y粗動ステージ(24)に設けられたスケール(72)とによって取得する第1計測系と、Y粗動ステージ(24)の位置情...

    移動体装置、移動方法、露光装置、露光方法、フラットパネルディスプレイの製造方法、並びにデバイス製造方法

  6. 【課題】取り付け機構に対する放電ランプの装着等を容易に短時間に行うことができる光源装置を提供する。【解決手段】発光部を形成するガラス管25とこれに連結された口金部26とを有する放電ランプ1と、口金部26を介して放電ランプ1を保持する取り付け装置31とを備えた光源装置であって、口金部26は、取り付け装置31の位置決め板50と当接するフランジ部26aと、フランジ部26aを...

    放電ランプ

  7. 【課題・解決手段】基板(P)を保持する基板ホルダ(70)は、基板(P)を保持する保持面と、保持面の裏面側に設けられた吸着部分と非吸着部分と、をそれぞれ備える複数のチャック部(74)と、チャック部(74)の吸着部分が吸着されるベース部(72)と、定盤部(50)と、定盤部(50)とベース部(72)との間に設けられ、チャック部(74)の非吸着部分を介して気体を通過させる管路...

    物体保持装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、及び物体保持方法

  8. 【課題・解決手段】基板(P)を非接触支持する非接触ホルダ(32)に対して基板(P)を搬送する搬送装置は、非接触ホルダ(32)の上方に位置する第1位置で基板(P)の一部を保持する保持パッド(1084b)と、基板(P)を保持した保持パッド(1084b)を、基板(P)が非接触ホルダ(32)に非接触支持されるように下方へ移動させる駆動部と、保持パッド(1084b)に保持された...

    露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、及び露光方法

  9. 【課題・解決手段】基板(P)を非接触支持する非接触ホルダ(32)に対して基板(P)を搬送する搬送装置は、非接触ホルダ(32)の上方に位置する第1位置で基板(P)の一部を保持する保持パッド(1084b)と、基板(P)を保持した保持パッド(1084b)を、基板(P)が非接触ホルダ(32)に非接触支持されるように下方へ移動させる駆動部と、保持パッド(1084b)に保持された...

    搬送装置、露光装置、露光方法、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、及び搬送方法

  10. 【課題・解決手段】移動体装置は、基板(P)を保持し、X軸及びY軸方向へ移動可能な基板ホルダ(32)と、Y軸方向へ移動可能なY粗動ステージ(24)と、基板ホルダ(32)の位置情報を、基板ホルダ(32)に設けられたヘッド(74x、74y)と、Y粗動ステージ(24)に設けられたスケール(72)とによって取得する第1計測系と、Y粗動ステージ(24)の位置情報を、Y粗動ステージ...

    移動体装置、移動方法、露光装置、露光方法、フラットパネルディスプレイの製造方法、並びにデバイス製造方法

  11. 【課題】物体を効率よく搬送する物体搬送装置を提供する。【解決手段】 基板ステージ20に基板Pを搬送する基板搬入装置80は、基板P2の一端部(+X側の端部)近傍、及び他端部(−X側の端部)近傍をそれぞれ下方から吸着保持する複数のロードハンド84と、基板P2の上側面に対向して配置され、複数のロードハンド84に支持された基板P2に重力方向上向きの力を作用させる気体吸引装置...

    物体搬送装置、物体処理装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、物体の搬送方法、及び物体交換方法

  12. 【課題】移動体の位置制御性の向上と、装置の生産コストの低減を図る。【解決手段】基板Pを露光処理する露光装置は、基板Pの一部を平坦度を確保した状態で保持する基板ホルダPHを有し、露光位置(露光領域IA)に対して、X軸方向に移動する微動ステージと、基板PをXY平面内のY軸方向に駆動する基板Yステップ送り装置88と、を備えている。この場合、基板ホルダPHにより基板Pの一部を...

    露光方法及び露光装置、並びにデバイス製造方法及びフラットパネルディスプレイの製造方法

  13. 【課題】基板ステージ装置上の基板の交換を迅速に行う。【解決手段】 基板ステージ装置20上に載置された基板P1を別の基板P2に交換する物体交換方法は、基板P1を保持した基板ステージ装置20を所定の物体交換位置に位置させることと、物体交換位置に設けられた懸垂支持装置50に基板P1を懸垂支持させることと、懸垂支持装置50に懸垂支持された基板P1を基板ステージ装置20から離...

    物体交換方法、物体交換システム、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法

  14. 【課題】物体支持装置上の物体の交換を迅速に行う。【解決手段】 搬出対象の基板Paを支持する第1エア浮上ユニット69の+X側に、搬入対象の基板Pbを支持する第2エア浮上ユニット70が配置され、第2エア浮上ユニット70の下方に第3エア浮上ユニット75がθy方向に傾斜して配置されている。第1エア浮上ユニット69が第3エア浮上ユニット75に合わせてθy方向に傾斜されて、基板...

    物体搬送装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、物体搬送方法、及び露光方法