阿川義昭 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】 容器内の被蒸着体全体を適切に攪拌することができる微粒子形成装置およびその方法を提供する。【解決手段】 攪拌容器73の中の被蒸着体7に向かって原子状シリコンイオンを照射する。ここで、攪拌容器73は回転機構72により回転しており、それぞれ回転する第1のスクレーパ61及び第2のスクレーパ62によって、攪拌容器73内のカーボン等の被蒸着体7は攪拌される。被蒸着体...

    微粒子形成装置およびその方法