関家一馬 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】反った形状の板状物を保持することができるチャックテーブル機構を提供すること。【解決手段】チャックテーブル機構1は、チャックテーブル2と、静電吸着部3と、バキューム吸着部4とを備える複合チャックテーブル機構である。チャックテーブル2は、板状物を保持する保持面である上面21を備える。静電吸着部3は、チャックテーブル2の内部に設置され電力の供給によって保持面である上...

    チャックテーブル機構

  2. 技術 加工装置

    【課題】被加工物に加工が施された保持手段の保持領域から汚染物質を除去できる加工装置を提供することにある。【解決手段】加工装置の保持手段14は、被加工物を吸引保持する保持領域18と、保持領域18を支持する枠体19と、枠体19にバルブ32を介して連結される吸引源30と、枠体19にバルブ42を介して連結される水供給源40と、から少なくとも構成され、保持手段14に隣接し、保持...

    加工装置

  3. 【課題】危険を伴うことなく、受光面に堆積した雪または粉塵を容易に除去できる太陽電池パネルの設置方法および太陽電池パネルを提供する。【解決手段】太陽電池パネルの設置方法は、太陽電池パネル16の受光面22を太陽に向くように傾斜させて設置する設置工程と、設置工程の前または後に、太陽電池パネル16の受光面22に対して超音波振動を生成する超音波振動子4を配設する超音波振動子配設...

    太陽電池パネルの設置方法および太陽電池パネル

  4. 【課題】負圧の発生源を別に用意する必要がない切削ブレードの装着機構を提供する。【解決手段】切削ブレードの装着機構であって、スピンドルに装着されるブレードマウントと、ブレードマウントにエアーを供給するエアー供給ユニットと、を備え、ブレードマウントは、切削ブレードの環状の基台に設けられた貫通孔に挿通される柱状のボス部と、ボス部の基端側から径方向に突出するフランジ部と、外部...

    切削ブレードの装着機構

  5. 【課題】負圧の発生源を別に用意する必要がない切削ブレードの装着機構を提供する。【解決手段】スピンドルの先端部に切削ブレードを装着するための切削ブレードの装着機構であって、スピンドルの先端部に装着されるブレードマウントと、ブレードマウントにエアーを供給するエアー供給ユニットと、を備え、ブレードマウントは、切削ブレードの環状の基台に設けられた貫通孔に挿通される柱状のボス部...

    切削ブレードの装着機構

  6. 【課題】ハーフカット溝が形成されたウエーハを、保持手段を構成するチャックテーブルから脱離させることができる被加工物保持装置を提供する。【解決手段】被加工物10を保持する保持手段20と、保持手段における被加工物の脱着を制御する制御手段100と、から構成された被加工物保持装置であって、枠体22bに第1のバルブV1を介して連結される吸引源30と、第2のバルブV2を介して連結...

    被加工物保持装置及び被加工物脱着方法

  7. 技術 切削装置

    【課題】切削水に混入した切削屑が発光素子、受光素子及び撮像カメラ等の端面に付着することを抑制する切削装置を提供する。【解決手段】被加工物を保持する保持手段と、保持された被加工物に切削水を供給しながら切削ブレード28を回転させて切削加工を施す切削手段と、保持手段と切削手段とを相対的に加工送りする送り手段とから少なくとも構成される切削装置である。切削手段は、切削ブレードを...

    切削装置

  8. 【課題】ウェーハ同士の位置決めの難易度を抑制することができる積層ウェーハの製造方法を提供すること。【解決手段】積層ウェーハの製造方法は、ウェーハを2枚準備するウェーハ準備ステップST1と、2枚のウェーハに分割予定ラインに対応した格子状の溝を表面に形成して区画領域を形成する区画領域形成ステップST2と、一方のウェーハを区画領域が上面になるよう設置した後、区画領域の上面か...

    積層ウェーハの製造方法

  9. 【課題】交換すべき切削ブレードを充分ストックできると共にブレード交換手段を備えた切削装置を提供する。【解決手段】切削ブレード供給装置は、複数の切削ブレードBをストックする切削ブレードストッカーと、切削ブレードストッカーから切削ブレードBを搬出し切削装置まで搬送する搬送手段と、搬送手段によって搬送された切削ブレードBを切削装置のブレード交換手段に受け渡す受け渡し手段と、...

    切削ブレード供給装置および切削ブレードケース

  10. 【課題】交換すべき切削ブレードを充分ストックできると共に、ブレード交換手段を備えた切削装置に切削ブレードを適宜供給できる切削ブレード供給装置を提供する。【解決手段】切削ブレード供給装置2は、複数の切削ブレードBをストックする切削ブレードストッカー4と、切削ブレードストッカー4から切削ブレードBを搬出し切削装置100まで搬送する搬送手段6と、搬送手段6によって搬送された...

    切削ブレード供給装置

  11. 技術 気送子

    【課題】本発明の解決すべき課題は、気送管設備における気送管内を移動する気送子であって、気送子が気送管内のいずれの位置に停止したのかを速やかに確認することができる気送子を提供することにある。【解決手段】送信ステーション110から受信ステーション120まで配設された気送管101内を移動する気送子10であって、該気送子10は、円筒状のカプセル11と、該カプセル11の両端に配...

    気送子

  12. 【課題】設備費を抑制できる鉄道レール修正車両を提供する。【解決手段】鉄道レール修正車両2は、鉄道レールの進行方向をX方向とし、鉄道レールの幅方向をY方向とし、X方向及びY方向に直交する方向をZ方向とした場合、鉄道レールで転動する少なくともX方向に配設された2対の車輪4と、車輪4を転動可能に支持する枠体6と、Z方向に延びる回転軸心を中心として回転自在に枠体6に装着され鉄...

    鉄道レール修正車両

  13. 【課題】ドレッシングボードが切削ブレードにより切削されてもドレッシングボードに関する情報を取得する。【解決手段】切削ブレードをドレッシングする際に使用されるドレッシングボード1であって、該ドレッシングボード1の性質に関する情報を含む2次元コード5と、該性質に関する情報に関連付けられる識別情報を含むバーコード3と、を表面に有する。該性質に関する情報は、該ドレッシングボー...

    ドレッシングボード、その使用方法及び切削装置

  14. 【課題】スピンドルに装着された後に被加工物の切削前に切削ブレードを強制的に消耗させる量を抑制することができること。【解決手段】切削ブレード1は、円柱状のブレード装着部を備える固定フランジに装着される。切削ブレード1は、切り刃となる外周4とブレード装着部の外径より大きい直径でブレード装着部が挿通する中央貫通孔5を備えるブレード本体2と、中央貫通孔5の内周から径方向中心3...

    切削ブレード及び切削ブレードの装着機構

  15. 【課題】複数の加工装置が設置されている工場において、通知情報を発信している加工装置を判別することができないという問題を抑制することができる加工装置の情報伝達機構を提供すること。【解決手段】加工装置の情報伝達機構1は、加工装置10と、ヘッドマウントディスプレイ20と、を有し、オペレータ100に加工装置10の情報を伝達する。加工装置10は、加工装置10の位置情報、加工装置...

    加工装置の情報伝達機構

  16. 【課題】シリコンインゴットから効率良くウエーハを生成することができるウエーハ生成方法を提供する。【解決手段】ウエーハ生成方法は、シリコンインゴット2を切断してブロックインゴット6を生成するブロックインゴット生成工程と、ブロックインゴット6の端面6aを研削して平坦化する平坦化工程と、シリコンに対して透過性を有する波長のレーザー光線LBの集光点をブロックインゴット6の端面...

    ウエーハ生成方法

  17. 【課題】ウエーハの履歴をウエーハに残すことができるウエーハの生成方法およびウエーハ生成装置を提供する。【解決手段】保持手段4に保持されたインゴット150の上面を研削して平坦化し、保持手段に保持されたインゴットの上面から生成すべきウエーハの厚みに相当する深さにインゴットに対して透過性を有する波長のレーザー光線LBの集光点FPを位置づけてレーザー光線をインゴットに照射し剥...

    ウエーハの生成方法およびウエーハ生成装置

  18. 【課題】天井パネルの高さの変更にかかる工数及びコストを抑制することができる天井パネルの高さ変更方法を提供すること。【解決手段】天井パネルの高さ変更方法は、長尺部と貫通穴が形成された貫通穴部と有する延長部材を準備する延長部材準備ステップST1と、吊りボルトを上側ボルトと下側ボルトとに切断するボルト切断ステップST2と、貫通穴に上側ボルトと下側ボルトを挿通し端部に抜け防止...

    天井パネルの高さ変更方法

  19. 【課題】超音波流量計と、温度計と、の機能を兼ね備えた計測器を提供する。【解決手段】管路に配設される計測器であって、該管路の上流側と、下流側と、にそれぞれ配設された超音波振動子と、該超音波振動子の間に配設され該液体に接する超音波伝導体と、該超音波伝導体中の超音波の伝播速度と、該超音波伝導体の温度と、の関係が登録された関係登録部と、を有し、該超音波振動子の一方で発生し該超...

    計測器及び加工装置

  20. 技術 気送子

    【課題】本発明の解決すべき課題は、気送管設備における気送管内を移動する気送子であって、気送管内における気送子の位置を容易に確認することができる気送子を提供することにある。【解決手段】本発明によれば、送信ステーション120から受信ステーション120まで配設された気送管101内を移動する気送子10であって、気送子10は、円筒状のカプセル11と、カプセル11の両端に配設され...

    気送子

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