長谷川義栄 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】プローブ針の針先平面度を高い精度で維持し、負圧による撓みを抑えて正確な検査を行う。【解決手段】本発明の接触子は、互いに対向して設けられた2つの基板の各電極にそれぞれ接触して各電極間を電気的に接続するポゴピンと、当該ポゴピンの外周を囲繞して設けられ当該ポゴピンを支持すると共に上記2つの基板にそれぞれ当接して各基板間を設定間隔に維持する外側筒とを備えて構成した。ま...

    接触子及び検査装置