錦見敏朗 さんに関する公開一覧

一部、同姓同名の別人の方の出願情報が表示される場合がございます。ご了承くださいませ。

  1. 【課題】 最上流側の引出し電極を構成する引出し電極片の熱変形に起因するY方向の電子線量分布の均一性悪化を防止する。【解決手段】 この発明に係る電子源は、電子線14の引出し方向Zに1段以上の引出し電極を有している。その内の最上流側の引出し電極10aは、Y方向において複数の引出し電極片22に隙間26を設けて分割されている。そしてこの引出し電極10aを構成する各引出し電...

    電子線照射装置用の電子源