鈴木泰雄 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】製造の高効率化を図りつつ、仮にシート状基材が薄い場合であっても、品質を担保する。【解決手段】シート状基材Zをプラズマ処理するプラズマ処理室Xと、プラズマ処理室X内にプラズマを発生されるための高周波アンテナ3と、シート状基材Zを上下方向に沿ってプラズマ処理室X内に送り出す送り出し機構10とを備えるようにした。

    プラズマ処理装置

  2. 【課題】成膜装置を高価なものにすることなく、成膜速度の向上を図り、製造効率を向上させる。【解決手段】基材1の少なくとも一方の面にガスバリヤ被膜2を形成するガスバリヤ被膜形成プロセスと、ガスバリヤ被膜形成プロセスの後、基材1に凹溝3を形成する凹溝形成プロセスとを備えるようにした。

    燃料電池用セパレータ製造方法及び成膜装置

  3. 【課題】板状又はシート状被加工基板表面を耐食性、耐摩耗性、或いは親水性等の機能性表面に改質すること、或いは基材表面にこれらの機能性薄膜を形成することができるプラズマ処理装置及びプラズマ処理方法を提供する。【解決手段】板状又はシート状の被加工基板12と、これに対向して配置したターゲット電極板13でホローカソード電極を構成し、ターゲット電極板13に隣接して配置された陽極板...

    プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法