金子忠義 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】シリコンウェーハ内にホウ素を均一に分散し、シート抵抗の面内ばらつきを抑制する【解決手段】加熱炉内に塗布液Lを塗布した製品用ウェーハWpと、前記塗布液を塗布したモニタウェーハWm1と、前記塗布液を塗布しないモニタウェーハWm2とを配置し、プレ拡散処理を行うステップと、前記プレ拡散処理後、塗布液を塗布したモニタウェーハの塗布膜厚を測定するとともに、塗布液を塗布しな...

    シリコンウェーハの製造方法