金井政史 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】検査対象に対する複数項目の検査を迅速に実施することが可能な検査装置、検査システム、検査方法を提供する。【解決手段】検査装置は、検査対象の所定の撮像範囲からの光を複数の波長の光に分光し、各波長の分光画像を撮像する分光撮像部と、各波長の前記分光画像のうち、所定波長の分光画像を用いて前記検査対象の形状を検査する形状検査部と、各波長の前記分光画像を用いて前記検査対象の...

    検査装置、検査システム、及び検査方法

  2. 【課題】光の波長に対する光の強度を精度良く検出する光モジュールを提供する。【解決手段】入射する光3の一部を通過し一部を反射する固定反射膜11と、固定反射膜11と対向して配置され、入射した光3の一部を通過し一部を反射する可動反射膜13と、固定反射膜11及び可動反射膜13を固有振動させて固定反射膜11と可動反射膜13との間の反射部間距離15を変化させる間隔変更部39と、反...

    光モジュール、分光測定装置、分光測定方法及び電子機器