野路伸治 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】半導体製造工程におけるウェーハの欠陥を検出する場合に、検査対象の表面に形成されたパターン等を高いスループットで検査する検査装置を提供する。【解決手段】電子ビームを試料に向けて照射する手段26・6と、試料を載置し、XY方向に移動するステージ26・22と、電子ビームの試料に向けた照射によって試料の表面の情報を得た電子を検出器26・4に拡大投影して結像させる手段26...

    電子線装置