野村信雄 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】高真空処理が必要な帯電物に対し、装置の大型化を防止するため、高真空領域と低真空領域とを備える必要がない除電装置を提供すること。【解決手段】高真空処理が必要な帯電物を内部に設置可能であり、内部圧力が10−5Pa以上1Pa以下の高真空チャンバと、前記真空チャンバの内部に電子サイクロトロン共鳴によるプラズマを供給するプラズマ源を備えるプラズマ発生装置とを備える事によ...

    除電装置及び除電方法

  2. 【課題】 防爆仕様を可能にしながら、検出感度を向上した静電気測定装置を提供すること。【解決手段】 ケーシング1と、このケーシング1内に設けられ、対向する帯電物体3の帯電電位に応じて誘導される誘導電流を出力する検出電極13と、このケーシング1において上記検出電極13と上記帯電物体3との間に設けられた接地電極15と、上記検出電極13と接地電極15とを相対回転させるエア...

    静電気測定装置

  3. 【課題】高真空領域と低真空領域とを備える必要がない除電装置を提供すること。【解決手段】帯電物を内部に設置可能であり、蒸着を行う高真空処理部を備える真空チャンバと、前記真空チャンバの内部に電子サイクロトロン共鳴によるプラズマを供給するプラズマ発生装置と、を備え、前記プラズマ発生装置は、前記プラズマを発生するプラズマ源と、前記プラズマ源を前記真空チャンバの内部に設置するフ...

    除電装置及びプラズマ発生装置

  4. 技術 除電装置

    【課題】 高真空に維持された同一の高真空チャンバー内で、成膜処理と除電処理とが同時又は連続して処理できる除電装置を提供することである。【解決手段】 高真空チャンバー1から区画されるとともに、上記高真空チャンバー1よりも容積が相対的に小さく保たれるプラズマ生成室Aが備えられている。このプラズマ生成室Aには、対向して電界を形成する第1電極7及び第2電極9と、ガス供給量...

    除電装置