野原二郎 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】外周部に厚みを有するウエハを安定して把持可能で、かつ反転時の落下を防止したクランプ装置を提供する。【解決手段】クランプ装置はウエハの外周部に厚肉部120を有するウエハを、第1クランプ20と第2クランプ30で挟んでクランプする。第1クランプ20はウエハの厚肉部を把持するための第1把持部210と、第1把持部より外側で第1把持部より第2クランプ30に向けて突出した突...

    クランプ装置

  2. 【課題】ウェハの破損を抑制可能なクランプリングを提供する。【解決手段】ウェハ2の主面に成膜する際に、前記主面の縁部全周に所定厚みで環状に形成されたリブ部2aを、前記主面側から押さえてウェハ2を固定するクランプリングであって、ウェハ2の主面側に配置される環状の本体部1aと、本体部1aのリブ部2a側の面からリブ部2aに向かって突出するように形成される環状の押さえ部1bと、...

    クランプリング