酒井章充 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】微細なレジストパターンにおいても、溶解部に対しては溶解性を促進し非溶解部に対しては溶解性を抑制する、溶解選択性に優れ、より短い時間で現像しうるレジスト用現像液を提供すること。【解決手段】塩基性化合物A及び分子中にフェノール性水酸基とカルボキシル基とを有する有機化合物Bから選ばれた1種以上、及び/又は塩基性化合物Aと有機化合物Bとから形成された塩Cから調製されて...