酒井優 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】真空装置のチャンバ内の真空度の不均一性は、真空装置の加工精度、加工均一性および/または加工安定性などに影響を及ぼし得る。【解決手段】気体を移送する気体移送装置であって、少なくとも一部に円柱状部分を有する内筒であって、内筒の吸気側に設けられたステージ取付部を含む、内筒と、少なくとも一部に円柱状部分を有する外筒であって、内筒の中心軸と同軸に配置される、外筒と、内筒...

    気体移送装置および気体移送装置の使用方法

  2. 【課題】ロータコアおよび/またはエンドリング内部の応力の集中を抑制するロータを提供する。【解決手段】アウタロータ型のモータのためのロータであって、ロータは、実質的に円筒状のロータコアであって、複数の独立した円弧部に分割されているロータコア110と、ロータコアの内周部分に固定される複数のメタルバー120であって、それぞれのメタルバーはロータコアの軸方向に延びる、複数のメ...

    アウタロータ型のモータのためのロータ、当該ロータを備えるモータ、当該モータを備えるターボ分子ポンプおよび当該モータを備える基板回転装置