郷田哲也 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】ウエハを必要な温度まで短時間かつ均一に上昇させることのできる加熱用LEDランプを提供する。【解決手段】加熱用LEDランプ100を、基板110と、基板110の表面に載置された複数のLED120とで構成する。基板の一方の端部の表面には一対の電極112が形成されており、各LEDはこれらの電極間で直列接続されている。この加熱用LEDランプを用いてウエハをバーンインする...

    加熱用LEDランプ、およびそれを備えるウエハ加熱ユニット