谷津田博美 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】測定装置に表面弾性波センサが挿入された際に、挿入された表面弾性波センサの検査の種類を識別することができる表面弾性波センサを提供する。【解決手段】本発明の表面弾性波センサは、表面弾性波を基板上に励起し、当該表面弾性波の特性変化により基板上の検出部に載置あるいは接触させた被検出物の物性を測定する表面弾性波センサであって、検出用前記表面弾性波とは別に、表面弾性波セン...

    表面弾性波センサ及び測定システム

  2. 【課題】測定装置に表面弾性波センサが挿入された際に、挿入された表面弾性波センサの検査の種類を識別することができる表面弾性波センサを提供する。【解決手段】本発明の表面弾性波センサは、表面弾性波を基板上に励起し、当該表面弾性波の特性変化により前記基板上の検出部に載置あるいは接触させた被検出物の物性を測定する表面弾性波センサであって、入力信号を入力する、あるいは出力信号を出...

    表面弾性波センサ及び測定システム

  3. 【課題】測定装置に表面弾性波センサが挿入された際に、挿入された表面弾性波センサの検査の種類を識別することができる表面弾性波センサを提供する。【解決手段】本発明の表面弾性波センサは、表面弾性波を基板上に励起し、当該表面弾性波の特性変化により前記基板上の検出部に載置あるいは接触させた被検出物の物性を測定する表面弾性波センサであって、前記測定における測定周波数とは異なる周波...

    表面弾性波センサ及び測定システム