西野功二 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】精密にガス流量を調整し、摩耗量が少なく、モータ軸にかかる荷重が小さな開度調整バルブを提供することである。【解決手段】ボディ2と、ケーシング10と、ステム8と、モータ9と、伝達手段とを備えている開度調整バルブであって、伝達手段は、出力軸9aに挿通されて固定されたベアリング保持体14と、ベアリング保持体14とモータ9との間に介在された第1のスラストベアリング15と...

    開度調整バルブ

  2. 【課題】基板処理システムにおけるガスの流量を高精度に求める方法を提供する。【解決手段】基板処理システムは、第1のガス流路を有するガス供給部を備える。第1のガス流路には、流量測定システムの第2のガス流路が接続されている。流量測定システムは、第2のガス流路に接続された第3のガス流路、並びに、第3のガス流路の中の圧力及び温度をそれぞれ測定する圧力センサ及び温度センサを更に備...

    ガスの流量を求める方法