西部幸伸 さんに関する公開一覧

一部、同姓同名の別人の方の出願情報が表示される場合がございます。ご了承くださいませ。

  1. 【課題】基板品質を向上させることができる基板検出装置及び基板処理装置を提供する。【解決手段】実施形態に係る基板検出装置40は、基部41と、基部41に対して揺動支点軸42aを中心に揺動自在に取り付けられた揺動部材42と、揺動部材42の一端部に設けられ、搬送されてくる基板に当たって押し下げられる検出ローラ43と、検出ローラ43が基板に当たって押し下げられ、揺動支点軸42a...

    基板検出装置及び基板処理装置