西田広泰 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】シリカ膜、Siウェハや難加工材であっても高速で研磨することができ、同時に高面精度を達成できるセリア系複合粒子分散液の提供。【解決手段】下記の特徴を備える平均粒子径5〜500nmのセリア系微粒子を含む、セリア系微粒子分散液。前記セリア系微粒子は、原料セリア微粒子と、前記原料セリア微粒子の表面上の易溶解性のシリカを含む層とを有し、前記原料セリア微粒子は結晶性のセリ...

    セリア系微粒子分散液、その製造方法およびセリア系微粒子分散液を含む研磨用砥粒分散液