西岡明 さんに関する公開一覧

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  1. 技術 ステージ装置、及び荷電粒子線装置

    【課題】アッベ誤差の低減とミラー軽量化の両立を実現する技術を提供する。【解決手段】本開示は、一態様として、試料を載置する試料テーブルと、試料テーブルを第１方向に移動させる第１の駆動機構と、試料テーブルの駆動方向である第１方向の位置を計測する位置計測要素と、位置計測要素による第１方向の第１測定軸と平行であって、当該第１測定軸とは高さが異なるスケール測定軸を有し、試料テー...

    ステージ装置、及び荷電粒子線装置