西岡明 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】試料を搭載する上段テーブルの熱変形と温度上昇を低減させるステージ装置、及びそれを備える荷電粒子線装置を提供する。【解決手段】試料を搭載する上段テーブルを第一の方向に移動させる上段ステージと、前記上段ステージを搭載する中段テーブルを前記第一の方向に直交する第二の方向に移動させる中段ステージと、前記中段ステージを搭載する下段テーブルを前記第一の方向と前記第二の方向...

    ステージ装置、及び荷電粒子線装置

  2. 【課題】XY方向及びZ方向に移動可能であって軽量かつ高剛性なステージ装置、及びそれを備える荷電粒子線装置を提供する。【解決手段】試料を搭載するチャックと、XY方向に移動するXYステージと、Z方向に移動するZステージと、を備えるステージ装置であって、前記Zステージは、前記XYステージに固定され、XY面に対して傾いた傾斜面を有する傾斜部と、前記傾斜面の上を移動する移動部と...

    ステージ装置、及び荷電粒子線装置

  3. 【課題】XYステージを高速に移動させる場合であっても像揺れを低減できる荷電粒子線装置を提供する。【解決手段】試料が配置されるXYステージと、前記試料へ荷電粒子線を照射する荷電粒子線源と、前記荷電粒子線の照射によって前記試料から放出される荷電粒子を検出する検出器と、前記検出器から出力される検出信号に基づいて前記試料のSEM画像を生成する画像生成部と、を備える荷電粒子線装...

    荷電粒子線装置

  4. 【課題】駆動源から伝達する熱の影響を効果的に低減するステージ装置を提供する。【解決手段】真空チャンバー内に配置されるステージ装置であって、試料と共に移動するテーブル2と、テーブル2を特定方向に案内するガイドレール7と、テーブル2に接続され、ガイドレール7上をテーブル2と共に移動するスライドユニット9aと、テーブル2とスライドユニット9aの間に配置されるペルチェモジュー...

    ステージ装置およびそれを用いた荷電粒子線装置