西岡明 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】アッベ誤差の低減とミラー軽量化の両立を実現する技術を提供する。【解決手段】本開示は、一態様として、試料を載置する試料テーブルと、試料テーブルを第1方向に移動させる第1の駆動機構と、試料テーブルの駆動方向である第1方向の位置を計測する位置計測要素と、位置計測要素による第1方向の第1測定軸と平行であって、当該第1測定軸とは高さが異なるスケール測定軸を有し、試料テー...

    ステージ装置、及び荷電粒子線装置