行村建 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】被加工材の表面に、良好かつ高品位な炭素膜を高速に形成する。【解決手段】成膜真空槽は、所定真空度に減圧可能とされる真空チャンバ内に、基板電圧印加手段により所定電圧に印加される基板と、基板に対向配置される少なくとも1つ以上の炭素原料基板を有し、炭素原料基板上で、真空チャンバ内に導入される放電発生用の媒体ガスをパルス電源より炭素原料基板に出力される調整電力に基づきプ...

    炭素膜成膜装置