藤田佳宏 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】パッケージ樹脂開封装置において、効率よく開封することができる技術を提供することを目的とする。【解決手段】パッケージ樹脂開封装置40は、複数の開口部12a,12bを有し、かつ、上面にパワーモジュール1が載置されるステージ50と、ステージ50に設けられた共通の内部空間11を介して複数の開口部12a,12bに接続され、かつ、薬液が流動する複数の配管33a,33bと、...

    パッケージ樹脂開封装置および開封用治具