藤本久義 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】対物レンズの被計測体側に配設された光学素子によりスポット位置を光軸に垂直な面内方向に走査することができるとともにこの光学素子による光学系全体の結像性能の劣化を抑えることができる三次元画像取得装置および三次元画像取得方法を提供する。【解決手段】三次元画像取得装置10は、共焦点光学系を用いた三次元画像取得装置であって、対物レンズ13の被計測体15側の光軸と交差する...

    三次元画像取得装置および三次元画像取得方法