藤井正寛 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】圧力検出感度および機械的強度の両立を図ることのできる圧力センサー、圧力センサーモジュール、電子機器および移動体を提供する。【解決手段】圧力センサーは、受圧により撓み変形するダイアフラムを備える基板と、前記ダイアフラムに設けられているピエゾ抵抗素子と、前記ダイアフラムの一方の面側に設けられている保護膜と、を有している。また、前記保護膜は、薄肉部と、前記薄肉部より...

    圧力センサー、圧力センサーモジュール、電子機器および移動体