菱沼邦之 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】レジスト材によってウエハの表面を平滑化するウエハの製造方法を提供する。【解決手段】ウエハの製造方法は、内部にキャビティが形成され、前記キャビティの内部と外部とを連通する連通孔が形成される中空のウエハにスピンコート法によってレジスト膜を形成する製造方法であって、前記ウエハにレジスト膜を形成する第1工程と、前記第1工程によって形成された前記レジスト膜上にレジスト膜...

    ウエハの製造方法