菊池孝幸 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】取り付け機構に対する放電ランプの装着等を容易に短時間に行うことができる光源装置を提供する。【解決手段】発光部を形成するガラス管25とこれに連結された口金部26とを有する放電ランプ1と、口金部26を介して放電ランプ1を保持する取り付け装置31とを備えた光源装置であって、口金部26は、取り付け装置31の位置決め板50と当接するフランジ部26aと、フランジ部26aを...

    放電ランプ

  2. 【課題】稼動率の低下を抑制できる光源装置を提供する。【解決手段】本発明の光源装置の一つの態様は、ランプが着脱可能な装着部と、前記ランプへ電力供給するために接続されたケーブルを冷却する気体を供給する給気部と、を備える。

    光源装置、露光装置、ランプ、メンテナンス方法およびデバイス製造方法