菅野洋一 さんに関する公開一覧

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  1. 技術 気化器

    【課題】 原料溶液が均一に分散した気化ガスを得ることができるMOCVD用気化器及び原料溶液の気化方法を提供すること。【解決手段】(1)ガス通路に加圧されたキャリアガス3を導入するためのガス導入口4と、ガス通路に原料溶液5aを供給する手段と、原料溶液含有キャリアガスを気化部22に送るためのガス出口7と、を有する分散部8と、(2)一端がMOCVD装置の反応管に接続され、...

    気化器