菅義訓 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】研削スラリーから効率よく半導体成分を分離することができる半導体成分の分離方法を提供する。【解決手段】半導体の研削スラリーから半導体成分を分離する方法であって、砥石を用いて半導体基板を研削して、研削された半導体粒子及び砥石から発生した砥粒を含む研削スラリーを得る工程であって、半導体粒子のD99が砥粒のD30よりも小さい研削スラリーを得る工程、及び半導体粒子のD9...

    半導体の分離方法