能丸圭司 さんに関する公開一覧

一部、同姓同名の別人の方の出願情報が表示される場合がございます。ご了承くださいませ。

  1. 【課題】簡素な構成で、ポリゴンミラーによって加工方向とレーザー光線の分散方向とを所定の関係に維持するレーザー加工装置の提供。【解決手段】被加工物の保持手段と、該保持手段に保持されたウエーハ10へのレーザー光線照射手段24と、該保持手段と該レーザー光線照射手段とX方向に相対的に加工送りするX方向移動手段と、該保持手段と該レーザー光線照射手段とX方向移動手段と直交するY方...

    レーザー加工装置

  2. 【課題】短時間で効率よくレーザー光線の正確なスポット形状を検出することにある。【解決手段】レーザー光線LB1を集光する集光レンズ31と、集光点Pと集光レンズとの間に配置されるビームスプリッター32と、複数のミラー6a’〜6q’を同心円上に配設したミラーホルダ6と、ミラーホルダを所定の周期で回転するモータと、複数のミラー6a’〜6q’によって順次反射されるレーザー光線の...

    スポット形状検出装置

  3. 【課題】波長変換手段通過後のレーザー光線強度分布を、適正なガウシアン分布(正規分布)に整形するレーザー装置を提供する。【解決手段】被加工物(ウエーハ10)を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段24と、から少なくとも達成されたレーザー装置であって、該レーザー光線照射手段24は、レーザー発振器24bと、該レーザー発...

    レーザー装置

  4. 技術 検査方法

    【課題】加工装置によって形成される加工領域の詳細を鮮明に撮像することを可能にして、加工領域を検査することができる検査方法を提供する。【解決手段】被加工物12を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物の加工領域に加工を施す加工手段と、被加工物を撮像する撮像手段48と、を少なくとも備えた加工装置を用いた加工領域の検査方法であって、加工領域を撮像手段の直下に位置付...

    検査方法

  5. 技術 計測装置

    【課題】画素数が少ないイメージセンサーを用いた場合であっても、高精度に厚みを計測することが可能な構成を備えた計測装置を提供する。【解決手段】ウエーハ10に対して透過性を有する波長域の光を光路70aに発するブロードバンド光源71と、ウエーハ10に照射する集光器75と、ブロードバンド光源71と集光器75との間の光路70aに配設されブロードバンド光源71が発した光を集光器7...

    計測装置

  6. 技術 計測装置

    【課題】構成が単純で安価な計測装置を提供する。【解決手段】本発明は、板状物(ウエーハ)の厚み、又は高さを計測する計測装置であって、板状物に対して透過性を有する波長域のパルス光を発するブロードバンド光源82と、伝達距離に応じて異なる波長にパルス光を分光して逆行させるFBG83と、逆行したパルス光を光ファイバーに伝達し、該光ファイバーの端部を2分岐して一方の端面に第1の戻...

    計測装置

  7. 【課題】構成が単純で安価な厚み計測装置を提供する。【解決手段】板状物(ウエーハ)の厚みを計測する厚み計測装置であって、板状物に対して透過性を有する波長域のパルス光を発するブロードバンド光源82と、パルス光を伝達し伝達距離に応じて異なる波長に分光して逆行させるFBG83と、逆行したパルス光を光ファイバーに伝達する光ファイバー伝達手段83aと、光ファイバーの端面に配設され...

    厚み計測装置

  8. 技術 計測装置

    【課題】短時間で効率よく板状物の厚さ又は高さを計測することができる計測装置を提供する。【解決手段】本板状物に透過性を有する波長域の光を発するブロードバンド光源と、ブロードバンド光源が発した光を波長域に分光する分光器と、分光器によって分光された各波長の光を時間経過で分配方向を変更する分配手段と、分配された各波長の光を集光する集光レンズと、集光レンズと対面し、集光レンズに...

    計測装置

  9. 【課題】短時間で効率よく板状物の厚さを計測することができる厚み計測装置を提供する。【解決手段】板状物に対して透過性を有する波長域の光を発するブロードバンド光源81と、ブロードバンド光源が発した光を分光する分光器82と、分光器によって分光された各波長の光を時間経過で分配方向を変更する分配手段83と、配設され集光レンズによって集光された各波長の光を伝達する光伝達手段と、板...

    厚み計測装置

  10. 【課題】スペクトル幅の広いパルスレーザー光線を波長変換手段により波長変換する際に、効率よく波長変換できる波長変換装置を提供する。【解決手段】パルスレーザー光線を発振する発振器44bと、そのスペクトル幅の中から少なくとも2種類の波長のパルスレーザー光線を選択する波長選択手段441と、選択された波長のパルスレーザー光線のうち、少なくともいずれかのパルスレーザー光線に遅延時...

    波長変換装置

  11. 【課題】分割予定ラインに形成された膜を効率よく除去することができるレーザー加工装置を提供する。【解決手段】レーザー加工装置であって、被加工物10(ウエーハ)を保持する保持手段65(吸着チャック)と、被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射機構44と、保持手段とレーザー光線照射機構とを相対的にX軸方向に加工送りするX軸方向送り手段と、相対的にX軸方向に直交するY...

    レーザー加工装置