置田尚吾 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】素子チップを製造する際に、基板表面の凹凸に沿って保護膜を形成する。【解決手段】素子チップの製造方法は、表面に凸部/凹部が形成された複数の素子領域と、素子領域を画定する分割領域を有する基板を準備する工程と、基板および環状のフレームを基板の裏面側から保持シートで保持する工程と、水溶性の第1樹脂と水より高い蒸気圧を有する有機溶媒とを含む第1混合物を、基板の表面に塗布...

    素子チップの製造方法

  2. 【課題】保持シートに保持された基板をプラズマ処理する際に、製品の歩留まりを向上させる。【解決手段】保持シートと、前記保持シートの外周領域に配置されるフレームと、を備える前記搬送キャリアを準備する第1工程と、前記保持シートの前記外周領域以外の内部領域に前記基板を貼着して、前記搬送キャリアに前記基板を保持させる第2工程と、前記保持シートの前記内部領域を撓ませる第3工程と、...

    プラズマ処理方法

  3. 【課題】実装過程における導電性材料の這い上がりを抑制することができる素子チップの製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】複数の素子領域を有する基板を分割して複数の素子チップを製造する素子チップの製造方法にて用いられるプラズマ処理工程において、基板を第1のプラズマに晒すことにより、基板を素子チップ10に分割し、第1の面10a、第2の面10bおよび第1の面10aと...

    素子チップの製造方法

  4. 【課題】アッシング不良を防止して生産性を向上させる。【解決手段】分割領域によって画定した複数の素子領域27を有する第1面と、第1面とは反対側の第2面とを有する基板2に対し、第1面に、分割領域28を露出させた状態で素子領域27を被覆するマスク30を形成するマスク形成工程と、第2面を保持部材22に保持した状態で、第1面をプラズマに晒して、分割領域28を第2面に達するまでエ...

    素子チップの製造方法及び装置

  5. 【課題】フレームや基板を、熱ダメージを受けないように効率良く冷却する。【解決手段】減圧可能な内部空間を有するチャンバ3と、チャンバ3内にプラズマを発生させるプラズマ源と、チャンバ3内に設けられて搬送キャリア4が載置されるステージ8と、ステージ8に載置されて保持シート30とフレーム31とを覆い、厚み方向に貫通するように形成された窓部36を有するカバー34とを備える。カバ...

    プラズマ処理装置及び方法