米田秋彦 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】基板搬送時の画像データと搬送エラー発生時の画像データをそれぞれ用いて異常解析を行う。【解決手段】基板の搬送時に発生するイベントデータ及び搬送エラーが生じたときに発生するアラームデータを取得する第1制御手段210(装置コントローラ)と、基板の搬送動作を第1画像データとして記録しつつ、該基板の搬送動作を該第1画像データよりも高精細な第2画像データとして記録する記録...

    基板処理システム、基板処理装置及び半導体装置の製造方法