秋葉敏克 さんに関する公開一覧

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  1. 【目的】高さ方向サイズを小さく抑えながら高精度なテーブルの高さ位置調整が可能なステージ機構を提供する。【構成】本発明の一態様のステージ機構は、水平方向に対して所定の角度を有する斜面が形成されたくさび44と、くさびが相対的に水平方向に移動することによって、くさびの斜面上を相対的に転がるローラ45と、ローラを支持し、くさびが相対的に水平方向に移動することによって斜面上を相...

    ステージ機構及びテーブル高さ位置の調整方法

  2. 【目的】チャンバ内を真空状態にすることにより、チャンバ内圧と大気圧との差圧によって、チャンバ自身が変形する場合でも、位置関係の誤差を補正し易い装置を提供する。【構成】本発明の一態様の荷電粒子ビーム画像取得装置は、試料が配置される直方体の検査室103(チャンバ)と、チャンバ上面の2本の対角線の交点を中心にして、チャンバ上面に載置される、試料に1次荷電粒子ビームを照射する...

    荷電粒子ビーム画像取得装置