秋山剛志 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】処理液に供給される気泡が大きくなることを抑制できる基板処理装置、及び基板処理方法を提供する。【解決手段】基板処理装置100は、内槽112に貯留される処理液Lである貯留処理液L1に基板Wを浸漬して基板Wの処理を行う。基板処理装置100は、気泡供給部130と、循環部160とを備える。気泡供給部130は、貯留処理液L1に気泡KAを供給する。循環部160は、気泡供給部...

    基板処理装置、及び基板処理方法

  2. 【課題】外力が作用した際における割れの発生を抑制可能な試料の製造方法を提供する。【解決手段】蛍光X線分析で用いられる試料の製造方法であって、環状に形成された型10内に、試料粉末20を供給する工程と、押圧具30を前記型10内に挿入することによって前記押圧具30で前記試料粉末20をプレスする工程と、前記押圧具30を前記型10内から抜き出すことによって前記押圧具30による前...

    試料の製造方法

  3. 【課題】基板の回転を抑制する。【解決手段】基板処理装置の内槽501の処理位置に配置されたリフタ13の保持棒132に設けられた保持溝1321に下方から保持された基板Wに対して、上方から保持する保持部52aを設けた。

    基板処理装置

  4. 【課題】処理槽内で処理される基板処理の偏りを抑制する。【解決手段】基板処理装置(100)は、処理槽(110)と、基板保持部(120)と、流体供給部(130)と、制御部(140)とを備える。処理槽(110)は、基板を処理するための処理液を貯留する。基板保持部(120)は、処理槽(110)の処理液内で基板を保持する。流体供給部(130)は、処理槽(110)に流体を供給する...

    基板処理装置および基板処理方法