神田稔 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題・解決手段】耐熱強度が高く長時間の引き上げに使用することができ、さらに低コストで製造可能なルツボ及びその製造方法を提供する。複合ルツボ10は、ルツボの基本材料としてムライト(3Al2O3・2SiO2)を用いており、アルミナとシリカを主成分とするムライト材料からなるルツボ本体11と、ルツボ本体11の内表面側に形成された透明シリカガラス層12とを備え、透明シリカガラ...

    複合ルツボ

  2. 【課題・解決手段】シリコン単結晶引き上げ中の高温下において沈み込みが抑制されたシリカガラスルツボ及びその製造方法を提供する。シリカガラスルツボ10は、ルツボの外表面側に設けられた多数の気泡を含む不透明シリカガラス層11と、ルツボの内表面側に設けられた透明シリカガラス層12とを備え、不透明シリカガラス層11は、ルツボ上部に設けられた第1の不透明シリカガラス部分11aと、...

    シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボ