磯明典 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題・解決手段】実施形態に係る有機膜形成装置は、大気圧よりも減圧された雰囲気を維持可能なチャンバと、前記チャンバの内部に設けられ、カバーにより囲まれる少なくとも1つの処理室と、前記チャンバの内部を排気可能な排気部と、を備えている。前記処理室には、少なくとも1つの第1のヒータを有する上部加熱部と、少なくとも1つの第2のヒータを有し、前記上部加熱部と対峙する下部加熱部と...

    有機膜形成装置