石田誠 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】保護部材挿入システム及び方法において、保護部材挿入作業の作業性の向上を図る。【解決手段】ネジ穴43bの保護部材50を保持する保持工具T1,T2と、保持工具T1,T2をネジ穴43bの中心軸BXを中心として回転可能なる工具駆動装置71と、保持工具T1,T2をネジ穴43bの中心軸BXに沿って移動可能であると共にネジ穴43bの中心軸BXに対する保持工具T1,T2の角度...

    保護部材挿入システム及び方法

  2. 【課題】部材の位置決め装置及び方法並びに胴本体に対するフィンの組立装置及び方法において、部材の位置決め精度の向上を図ると共に胴本体に対してフィンを高精度に組付ける。【解決手段】伝熱フィン26を吸着保持する吸着保持部105と、吸着保持部105による吸着保持が解除された伝熱フィン26を基準位置に移動して位置決めを行う位置決め部材106とを設けている。

    部材の位置決め装置及び方法並びに胴本体に対するフィンの組立装置及び方法

  3. 【課題】構造物の角度測定装置及び方法並びに胴本体に対するフィンの組立装置及び方法において、構造物の支持状態を高精度に計測すると共に、胴本体の支持状態に基づいて胴本体に対してフィンを高精度に組付ける。【解決手段】胴本体21における3個の特徴点としてのネジ穴43b−1,43b−2,23a−1の位置情報を検出するネジ穴検出装置(位置情報検出装置)102と、ネジ穴検出装置10...

    構造物の角度測定装置及び方法並びに胴本体に対するフィンの組立装置及び方法

  4. 【課題】露光不良の発生を抑制できる露光装置を提供する。【解決手段】液体を介して露光光を基板の上面に照射する。露光光が射出される射出面を有する光学部材と、基板をリリース可能に保持する第1保持部と、上面及び該上面の外縁の一部であって保持される基板の端部と周方向に沿って対向するエッジ部を有する第1部材と、を含む基板保持装置と、を備える。第1部材のエッジ部には、保持された基板...

    露光装置、露光方法、デバイス製造方法