石田昌彦 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】単結晶シリコン製造用原料として好適な多結晶シリコンを提供すること。【解決手段】本発明に係る多結晶シリコン棒は、0.3MPaG以上の圧力下で化学気相法により育成された多結晶シリコン棒であって、該多結晶シリコン棒の任意の部位から採取した板状試料を、シリコンの融点未満の温度からシリコンの融点を超える温度まで昇温させながら顕微鏡観察したときに、融点直下において、複数の...

    多結晶シリコン棒および単結晶シリコンの製造方法

  2. 【課題】単結晶シリコン製造用原料として好適な多結晶シリコンを提供すること。【解決手段】化学気相法による析出により直径が150mm以上の多結晶シリコン棒を製造するに際し、反応炉内に複数対のシリコン芯線を配置し、前記多結晶シリコン棒の最終直径の平均値をD(mm)とし、前記複数対のシリコン芯線の相互間隔をL(mm)としたときに、D/Lの値を0.40未満の範囲に設定する。

    多結晶シリコン棒および多結晶シリコン棒の製造方法