石橋暁 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】 1回のエッチングによってパターニングすることができ、樹脂基板に対する付着力が強い配線膜とその配線膜を用いた半導体素子、表示装置を提供する。【解決手段】 樹脂基板30に接触した下地膜21は、主添加金属であるマンガンと、副添加金属であるアルミニウム、シリコン、チタン、又はニッケルを所定割合含有する銅薄膜であり、樹脂に対する付着力が強いので、配線膜31、32(...

    ターゲット、配線膜、半導体素子、表示装置

  2. 【課題・解決手段】ターゲット使用効率が高いターゲット装置とスパッタリング装置とを提供する。バッキングプレート21よりも透磁率が高い環状の高透磁率板27の表面33を、外側磁石25の上端と内側磁石26の上端とが位置する磁石平面31に一致するか又は磁石平面31よりもスパッタリングターゲット22に近い位置に配置し、裏面32を磁石平面31と一致するか又は磁石平面31よりもスパッ...

    ターゲット装置、スパッタリング装置