石川聡 さんに関する公開一覧

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  1. 技術 離解機

    【課題】離解機ではローターとステーターとのそれぞれに同心円上に配されたリングが有する刃の間を通過してパルプ繊維が離解されるが、最も周速の大きいリングの刃による離解効率が最も高いことに着目して、離解効率を維持しながら電力消費量を減少させる離解機を提供する。【解決手段】ステーターが備えている刃を有する複数本のリングのうちの最外周に位置するリング以外のリングを取り外す。ある...

    離解機

  2. 【課題】処理装置の冷却システムの冷媒の漏れを検知する。【解決手段】処理装置は、チャンバを提供するチャンバ本体と、その上に載置される被処理体を支持するステージ16であり、その内部に冷媒用の第1の流路F1、及び、第1の流路に連通した空間70が形成されたステージと、空間に挿入され、第1の流路に接続された第1の端部52a、及び冷媒供給機構に接続された第2の端部52bを有する第...

    被処理体の処理装置、及び、処理装置の検査方法