石塚俊弘 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】容易に試験対象物の電極との接触状態を維持することができるコンタクトプローブ用プランジャを製造する。【解決手段】コンタクトプローブ用プランジャは、先端部分10aにプランジャ本体1aの中心軸AXに対して放射状に広がった複数の突起1bを備える。このようなコンタクトプローブ用プランジャは、まず、前記突起に対応する位置に設けられた複数の笠部50bを備えた被覆部材50を準...

    コンタクトプローブ用プランジャの製造方法及びコンタクトプローブ用プランジャ

  2. 【課題】プローブピンと測定対象物との導通状態を確保しつつ、測定対象物の過度の損傷を抑制することを課題とする。【解決手段】プローバ装置は、プローブピンと、このプローブピンの先端部を接触させる電極パッドが設けられた半導体ウェハ等の測定対象物が設置される台座部を備える。さらに、プローバ装置は、プローブピンと測定対象物の少なくとも一方を往復振動させる振動発生部を備える。そして...

    プローバ装置及びプローブ測定方法