石井信雄 さんに関する公開一覧

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  1. 【課題】良好な膜質のコーティング膜を与えることができるコーティング装置およびコーティング方法を提供する。【解決手段】処理チャンバと、 該処理チャンバ内の所定位置に電子デバイス用基材を配置するための基材保持手段と、前記コーティング材料を供給するためのコーティング材料供給手段と、前記電子デバイス用基材をプラズマ照射するためのプラズマ源とを少なくとも含むコーティング装置。...

    コーティング装置およびコーティング方法

    • 公開日:2011/05/12
    • 出願人: 後藤俊夫 、...
    • 発明者: 後藤俊夫 、...
    • 公開番号:2011-097097号
  2. 【課題】 プラズマ生成効率を犠牲にすることなく、また余分な発熱を生じることなく、プラズマの均一性を向上する。【解決手段】 第1及び第2の導電板31,32により形成されるラジアル導波路33内に平面視放射状に配置され、第1の導電板31と第2の導電板32との間に延在する導電性の仕切り板37を複数備える。

    ラジアルアンテナ及びそれを用いたプラズマ処理装置